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DEK交付300mm晶圆印刷生产系统
2003年1月6日 16:36     
FPGA成都    
DEK公司日前宣布,已成功地为客户在亚洲 工厂配置了一套300mm晶圆片凸块生产系统,这个系统采用DEK 后端晶圆加工批量压印技术,以及DEK与 Adept Semiconductor工艺部门共同开发 晶圆处理技术, 

新系统以DEK现有 150mm和200mm晶圆片后端解决方案为基础,能够将300mm晶圆片从打开 匣中或前开口统一容器 (FOUP) 中转送至加工台,并自动将晶圆运回匣子或FOUP中;或者在加工结束时直接运往回流炉,晶圆由输送带传送,输送机通过符合SMEMA规范 标准接口与系统集成, 

DEK 150mm和200mm晶圆片后端加工解决方案已在客户 多处工厂投入运作,其中包括欧洲, 美国, 中国大陆与台湾, 马来西亚和新加坡,成功 加工方法包括DirEKt Ball Attach焊球置放,及采用焊膏沉积方法实现精细间距焊膏凸块,这些均以DEK 专利ProFlow DirEKt压印技术为基础,这项技术能够精确控制涂敷到晶圆和FR4环氧树脂等其它基底上 电子材料,其中包括尺寸小至0.3mm 焊球, 包括low-alpha 低放射性焊锡膏, 底部充胶剂及高级半导体封装所需 其它材料, 

DEK 封装技术可提高设备 灵活性和首次运作良品率,同时减少后端晶圆级加工所需 清洁室投资费用,能够实现多种类型商业用产品元器件 高级晶圆水平芯片级封装 (CSP) 和其它形式 芯片级封装, 
 
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